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顯微鏡 Micorscopy / 自動化 Automation
顯微鏡專用XY電動平台
 
No. FR-MS-XY
   

汎叡科技提供各種顯微鏡電動平台升級


目前支援四大廠牌如下 :

  • Olympus
  • Nikon
  • Leica
  • Ziess
  • 其他品牌歡迎來電洽詢

目前平台型號依照大小與樣式區分如下 :

MS-2000 : 100x100mm
MS-6000 : 150x150mm
MS-8000 : 200x200mm
MS-9400 : 225x100mm
MS-10000 : 250x250mm
MS-12000 : 300x300mm


詳細規格:
XY axis resolution (encoder step) 22 nm
XY axis RMS repeatability < 700 nm (typical)
XY axis maximum velocity 7 mm/sec
Z axis resolution (encoder step) 50 nm
Z axis repeatability ± 100 nm (typical)
Z axis maximum velocity 0.6 mm/sec

螺桿螺具選購:
Lead Screw Pitch Options Rotary Encoder Resolution Maximum Speed
25.40 mm (Ultra-coarse) 88 nm 28 mm/sec
12.70 mm (Super-coarse) 44 nm 14 mm/sec
6.35 mm (Standard) 22 nm 7 mm/sec
1.59 mm (Fine) 5.5 nm 1.75 mm/sec
0.635 mm (Extra-fine) 2.2 nm 0.7 mm/sec
* Standard Lead Screw Accuracy is 0.25 μm per millimeter

螺桿螺具選購:
Axis Scale Resolution Scale Accuracy
XY + 10 nm ± 3 μm per length of scale

樣本夾選購:
原廠連結




 
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